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【創新科技】「超晶格」薄膜 突破芯片3大限制

10:00 2022/12/04

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超晶格芯片薄膜不但非常薄且輕、成本低,還可以發射光,而不僅僅是檢測光。(UPenn)

相機、太陽能電池板和光纖等科技產品,都會用到光電探測器(Photodetectors),當中所使用的芯片愈小,性能愈高。但目前的材料和製造方法都限制了芯片再縮細,無奈要在尺寸和性能之間取捨。

有大學研究團隊製造了一種僅5個原子厚度的芯片薄膜,具有高度光輻射性,為更多元化的光電應用開啟了大門。

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傳統的芯片製造技術有3大限制。首先,芯片是通過在晶圓(Wafer)頂部建立芯片薄膜來製造,薄膜的晶體結構與基底(Substrate)晶圓的晶體結構必須一致,但這會使薄膜難以轉移到其他基底材料上,結果會降低其適用性。

再者,目前轉移和堆疊薄膜的方法,是通過機械剝離方式完成,但這會導致多個不均勻的膜層堆疊在一起,當每層不均勻的厚度累積時,最終會影響芯片和產品的質量。

鎢硫取代矽   具高度光輻射性

第三,矽(Silicon)是芯片的首選材料,但當它變得愈薄,其光子結構表現就會愈差,這會導致光電探測器的表現不理想。

由賓夕法尼亞大學(UPenn)電氣及系統工程系助理教授Deep Jariwala領導的科研團隊,成功突破以上限制,透過以鎢(Tungsten)和硫(Sulfur)取代矽,並運用「超晶格」(Superlattice)設計,製作出厚度均勻、具有高度光輻射性,只有5個原子厚度的芯片薄膜。

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原子厚度的材料通常是由幾何排列的原子層組成,一般稱為「晶格」(Lattice);每種材料都有特有的排列圖案,而超晶格則是由不同材料的晶格互相堆疊而成。Deep Jariwala表示,超晶格具有全新的光學、化學和物理特性,能適應光敏元件和其他傳感器應用。

傳統的超晶格是直接在所需的基底上建立,但它們往往有數百萬個原子厚度,而且很難轉移到其他材料基底上。

為確保超晶格可適用於許多不同材料,研究團隊先在兩英寸晶圓上建立晶格,然後將基底溶解,使晶格可轉移到任何需要的材料上。此外,晶格會在同一方向上排列,令超晶格的厚度均勻,而且製作過程簡單、具可重複及擴展性。

自成光源   改善激光雷達系統

超晶格芯片薄膜不但非常薄且輕、成本低,還可以發射光,而不僅僅是檢測光。

Deep Jariwala指出:「光是很難控制的,但我們可以控制物質,團隊發現通過操控超晶格的形狀,就可間接地控制從它發出的光。」這意味超晶格可以成為一個光源,他認為這項技術或能大大改善自動駕駛、人臉識別和電腦視覺(Computer Vision)中的激光雷達系統。

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此外,超晶格芯片薄膜也可用於光子電腦(Optical Computer)的芯片。光的移動速度比電子快,所以由光驅動的芯片將提高計算速度,使運算過程更有效率,當中的挑戰是找到一個能為芯片供電的光源,他認為,超晶格芯片薄膜或是這方面的解決方案。

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記者:陳卓賢

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