【半導體】德國工廠火災 ASML稱影響有限

半導體設備生產商艾司摩爾（ASML） 周五（7日）表示，日前在柏林工廠發生火災對今年生產的影響有限。現正進一步評估對其最先進的EUV光刻機造成的影響，將在19日有進一步更新。

ASML在一份聲明表示，在1月3日的火災不會影響其DUV光刻機的生産或收入。不過仍在確定會否對其最先進的EUV光刻機造成影響。ASML的光刻機是各大晶片製造商所需的關鍵設備。若該公司延遲發貨可能會引發連鎖反應，加劇晶片短缺的問題。

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該公司表示，火災造成的損失有限，火災影響一部份的建築，以及令鄰近建築受煙霧影響。

但其他建築物沒有受到影響，可以正常運作。至於DUV光刻機，ASML承認火災破壞了一些組件，但公司會以不影響產量和收入計劃的方式下進行補救。

而EUV光刻機部分零件也在火災中受到影響，該公司表示，仍在討論該生產區的恢復計劃，需確定要如何最大限度減低對EUV客戶的影響。

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責任編輯：黃苑筠